（1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。

　　（2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

　　二、技术组织规格：

　　1．腔体材质：304不锈钢

　　2．上盖开启：铰链侧开

　　3．加热台材质：304不锈钢

　　4．内腔体尺寸：φ160x90mm

　　5．观察窗尺寸：Φ70mm

　　6．加热台尺寸：φ60mm

　　7．观察窗热台间距：75mm

　　8．加热台温度：-196-350℃

　　9．加热台温控误差：±1℃

　　10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa

　　11．允许正压：≤0.1MPa

　　12．真空抽气口：KF25真空法兰

　　13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头

　　多功能手动探针台

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