压电移相器由两部分组成，压电陶瓷驱动与手调微动螺钉。为保证对位移的高分辨率要求，压电陶瓷移相器采用压电陶瓷直驱技术结构，确保陶瓷的高分辨率可以直接输出，而不受外部机械结构的影响。手调微动螺钉则采用高精螺丝和衬套，保证了手动调节的精度。

 

移相干涉技术是一种利用干涉图对光学元件进行测量的技术，其中核心部件为移相器，一般常用微位移运动器件驱动实现。压电式移相器，以其优良的测试精度而被广泛用于各种现代干涉仪器中，并被广泛地应用于各个领域。

 

压电式移相器是由压电控制器所驱动，它所能移动的位移与压电控制器施加于它的电压信号有关，并与其大小成线性关系。压电式移相器具有体积小巧、高精度、纳米级高分辨率、响应速度快、高刚度、控制简单且不受磁场影响等优点。

 

压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷驱动，它由直流电压信号来控制，在150V电压下产生的位移约0.7µm，可用于快速步进移相应用。压电陶瓷移相器的驱动电压上限为800V，在此电压下，产生的位移约3.73µm。

 

该压电移相器是专为移相应用而设计，可通过电压控制进行超快速步进调节，同时，可通过手动调节θx、θy两轴的偏转角度，角度调节范围可达±4°。将镜片调节与移相步进结合，使其更方便于像移、干涉测量等应用。

 

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