扩散硅压力变送器产品特点介绍:
1、适合制作小量程的变送器
硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。
2、输出灵敏度高
硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。
3、精度高
由于传感器的感受、敏感转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,保证了良好的线性。
4、由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片最大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,压力循环,性能稳定,可靠性高。
5、由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的扩散硅压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。
6、由于芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。
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