高精度 3D 结构加工属于增材制造范畴，区别于铣削、切割等去除多余材料的减材加工，整套工艺以数字三维模型为基础，计算机系统拆解模型多层截面，控制飞秒激光焦点在光刻胶内部逐层固化，完整复刻模型全部立体细节，无需开制模具，缩短新品原型开发周期。同时融合纳米微加工技术，依托双光子非线性曝光特性，将单层成型纹路尺寸控制在纳米区间，兼顾结构复杂度与成型精细度，电子束光刻等纳米加工手段仅能处理平面图形，无法实现纵深三维成型，高精度 3D 结构加工填补这一技术空白。

　　整套工艺成型的构件具备丰富的应用落地场景。在光子光学领域，高精度 3D 结构加工可制备微型球面耦合透镜、光子引线阵列、周期性光子晶体超材料，这类器件内部存在多层交错微通道，平面加工无法实现一体成型，激光直写一次完成整体结构，光信号传输损耗稳定；生物医药方向，可加工多孔细胞支架阵列，支架内部连通孔隙结构适配细胞附着与养分流通，成型尺寸贴合细胞生长微观尺度，可直接用于体外生物实验。

　　传感与 MEMS 器件制造同样依赖高精度 3D 结构加工工艺，微型压力传感探头、微型流体控制芯片内部复杂导流通道，依靠三维直写一体成型，通道内壁平整，流体流动不会出现局部涡流。加工完成的样品表面平整程度表现稳定，大面积阵列加工时，不同位置的单元结构尺寸偏差较小，拼接区域过渡自然，无台阶、断层缺陷。

　　设备端配套工艺可灵活调整打印高度，适配不同厚度基材，加工完成后仅需简单显影工序，去除未曝光光刻胶即可得到完整立体样品，材料利用率优于传统减材加工，加工过程无大量废料产生。企业依托自研双光子光刻设备，配套完整高精度 3D 结构加工工艺方案，针对不同行业材料需求调配适配光刻胶，区分生物兼容、高光学透射、高机械强度材料配方，同时提供样品试制服务，协助客户完成结构参数迭代，优化三维模型设计，提升成品使用性能。

有关信息请见：https://www.chem17.com/st675557/product_39660187.html